一、等離子清洗機清洗刻蝕原理：
等離子清洗機，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態，并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、涂覆等目的。
二、設備功能
等離子清洗機主要用于等離子表面清洗、等離子刻蝕處理、等離子灰化處理、等離子表面活化。
三 應用領域
半導體、led、電路板、液晶顯示器、連接器等行業.
四、等離子清洗機主要技術數據及規格
技術配置/標準型號 | SPG-60-PSP | SPG-80-PSP | SPG-100-PSP | SPG-120-PSP |
外形尺寸(WHD) | W900mmxH1700
mmxD1000mm | W900mmxH1700
mmxD1000mm | W900mmxH1700
mmxD1000mm | W1080mmxH1840
mmxD1335mm |
反應倉尺寸 | W450mmxH300
mmxD450mm | W600mmxH350
mmxD395mm | W450mmxH500
mmxD450mm | W450mmxH610
mmxD470mm |
真空腔體材質 | 不銹鋼 |
電極板有效面積 | 320mmx280
mmx9 | 360mmx340
mmx11 | 360mmx340
mmx14 | 360mmx340
mmx18 |
等離子電源 | RSG500/PSG-LA | RSG1000/PSG-LA | KTC600 | KTC600 |
電源功率 | 0-500W | 0-500W | 0-1000W | 0-1000W |
電源頻率 | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz/40KHz | 13.56MHz/40KHz |
極限真空度 | 2Pa | 2Pa | 2Pa | 2Pa |
工藝氣體流量 | 0-200sccm | 0-200sccm | 0-200sccm | 0-200sccm |
工作壓強 | 10-130Pa |
氣體管路 | 內外高精度拋光，氣阻小，流量可高達100L/min |
單次處理時間 | 0-6min |
PLC控制系統 | 西門子PLC模擬量控制實現所有信號數據集成 |
觸摸屏 | 5.7英寸 | 7.1英寸 | 7.1英寸 | 7.1英寸 |
MFC | MFC-200 | MFC-200 | KTC-200 | KTC-200 |
電磁閥 | 日本進口、超長時間低溫工作 |
真空泵系統 | BSV60 | BSV60+BSJ150L | BSV60+PDV300 | BSV60+PDV300 |
參數功能 | 配方控制、處理時間、射頻功率、氣體流量設定可調 |
所需環境配置 |
電源 | 三相五線 獨立接地 | 三相五線 獨立接地 | 三相五線 獨立接地 | 三相五線 獨立接地 |
電流 | 15A | 20A | 25A | 25A |
供氣管路 | 0.2至0.6MPa,管徑?6 |
環境 | 最高28°C良好換氣通風 |
濕度 | 30%-85% |
腔體及電極 | 可據客戶要求設計 |
質量流量計 | 流量量程及路數可增減 |
干泵 | 可據客戶要求配置 |
尾氣處理器 | 可選配 |
過濾返油裝置 | 可選配 |
油泵低液位報警 | 可選配 |
